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次世代の要求に応える「3つのZERO」

Particle ZeroTrue-L Motion Gate Valve
Electric True-L Motion Gate Valve
パーティクルが限りなく「ゼロ」!

  • 弁体が水平移動することでO-ringに不要なチカラを与えずシールします。
  • O-ringから発生するParticleを抑えることができます!

パーティクルデータ詳細はお問い合わせください!

従来型

従来型

弁体が僅かに回転移動することでシール

True-L motion

True-L motion

弁体が水平移動することでシール

従来型の特長

シート面の直下に回転中心がある為、捻転させる力は殆んど発生しません。

従来型の特長

Vibration ZeroElectric True-L Motion Gate Valve

振動がほとんど「ゼロ」!

  • 電動化による開閉動作制御で振動を大幅低減

振動データの詳細はお問い合わせください!

Close開始

Close開始

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Full Close

Full Close

Open直後

Open直後

Opne中

Opne中

Full Open

Full Open

Conductance ZeroAPC Penduroll Valve圧力制御中の最小コンダクタンスが「ゼロ」!

  • 圧力の立ち上がりが速い
  • 設定圧力近傍までプロセスガスが漏れない
  • プロセスガスが節約できます
ポートを塞いだ状態

弁体がポートを塞いだ状態

プロセスガスは排気される

Oリングをシート面に押し付けた状態

弁体O-ringをシート面に僅かに
押し付けた状態

コンダクタンスが「ゼロ」で、
圧力上昇率が最大となる

圧力安定

圧力が安定した状態

プロセスガスの流量を調整

チャンバーシュミレーター

エンコーダ信号

圧力信号

 

 

  • ペンドロールバルブ
  • APCコントローラー

Simulatorにより効果を事前に確認できます!

パラメーター

  • 到達点
  • チャンバー容積
  • 外乱要因(圧力変動etc)
  • 排気速度
  • 圧力信号遅れ
  • ガス種、流量、温度

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