次世代の要求に応える「３つのZERO」
Particle ZeroTrue-L Motion Gate Valve
Electric True-L Motion Gate Valveパーティクルが限りなく「ゼロ」！
- 弁体が水平移動することでO-ringに不要なチカラを与えずシールします。
- O-ringから発生するParticleを抑えることができます！
パーティクルデータ詳細はお問い合わせください！
従来型
弁体が僅かに回転移動することでシール
True-L motion
弁体が水平移動することでシール
従来型の特長
シート面の直下に回転中心がある為、捻転させる力は殆んど発生しません。
Vibration ZeroElectric True-L Motion Gate Valve
振動がほとんど「ゼロ」！
- 電動化による開閉動作制御で振動を大幅低減
振動データの詳細はお問い合わせください！
Close開始
Close
Full Close
Open直後
Open中
Full Open
Conductance ZeroAPC Penduroll Valve圧力制御中の最小コンダクタンスが「ゼロ」！
- 圧力の立ち上がりが速い
- 設定圧力近傍までプロセスガスが漏れない
- プロセスガスが節約できます
弁体がポートを塞いだ状態
プロセスガスは排気される
弁体O-ringをシート面に僅かに
押し付けた状態
コンダクタンスが「ゼロ」で、
圧力上昇率が最大となる
圧力が安定した状態
プロセスガスの流量を調整
エンコーダ信号
圧力信号
- ペンドロールバルブ
- APCコントローラー
Simulatorにより効果を事前に確認できます！
パラメーター
- 到達点
- チャンバー容積
- 外乱要因（圧力変動etc）
- 排気速度
- 圧力信号遅れ
- ガス種、流量、温度
カタログ
関連情報
