真空バルブ
産業テクノロジーの発展を支える真空バルブ
当社は真空装置発展の初期より、ハイパフォーマンスバルブの専門メーカーとして設計、開発、生産までを一貫して行っており、日本国内はもとより世界中の最新テクノロジーの発展に貢献しております。
真空バルブとは
当社は、ウエハー(ワーク)の出入口で真空チャンバーと大気間や真空チャンバー間を遮断する角型ゲートバルブと、真空チャンバーと排気ポンプの間に設置するペンドロールバルブ をラインナップしています。小口径から大口径・あらゆる業界・装置向けに当社の真空バルブは、微細化・生産性向上・低コスト・短納期など、ますます厳しくなるご要求にお応えします。
製品から選ぶ
Rollcam Gate Valve
Twin Rollcam Gate Valve
True L Motion Gate Valve
Gate Valve T Motion
Small size Rollcam Gat Valve
R2R Valve
アイソレーション ペンドロールバルブ（IPV）
3ポジション ペンドロールバルブ(3PV)
APC Penduroll Valve
Controller VZ-1000G VZ-2000G
特殊バルブ
次世代の要求に応える「3つのZERO」
次世代半導体装置に対応する「3つのZERO」をテーマにしたバルブです。
Particle ZeroTrue-L Motion Gate Valve
Electric True-L Motion Gate Valveパーティクルが限りなく「ゼロ」！
Vibration ZeroElectric True-L Motion Gate Valve振動がほとんど「ゼロ」！
Conductance ZeroAPC Penduroll Valve圧力制御中の最小コンダクタンスが「ゼロ」！
業界別導入実績
半導体
液晶ディスプレイ
太陽電池
有機発光ダイオード
医療
研究・開発
発光ダイオード
水晶デバイス
ハードディスクドライブ
冶金
理化学
宇宙
装置別活用例
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真空蒸着
Vacuum evaporation -
エッチング
Etching -
アッシング
Ashing -
スパッタリング
Sputtering -
PVD
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CVD
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エピタキシャル
Epitaxial film formation
成膜 -
イオン注入
Ion implantaion -
アニール
Annealing -
グローブ
ボックスGlove box -
真空炉Vacuum furnace
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ALD
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ロール to
ロール装置Roll-to-Roll apparatus -
スペース
チャンバーSpace chamber -
溶解炉Melting furnace
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放射光施設Synchrotron radiation facility
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SEM
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ドライ洗浄Dry cleaning
カタログ
関連情報
