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角型ゲートバルブ

シンプルな部品構成で小型化を実現

標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。
ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。

用途別製品ラインナップ

当社では締切能力により主に3種類に分類しています。

角型ゲートバルブ ドアバルブ

弁体シール方向に大気圧を受けるバルブ

角型ゲートバルブ 同圧バルブ

同圧状態で使用されるバルブ

角型ゲートバルブ 逆圧バルブ

弁体シール方向と逆の方向に力を受けるバルブ

ブイテックスの角型ゲートバルブについて

対応サイズ

200mm・300mmウエハー〜G10.5ガラス基板

バルブ駆動方式は、開口サイズ・締切能力などの仕様により異なり、様々なタイプがあります。
お客様の仕様により最適な駆動方式をご提案します。

駆動方式タイプ

  • ロールカムタイプ
  • ツインロールカムタイプ
  • True-L Motionタイプ
  • T-Motionタイプ
  • R2Rタイプ(Roll to Rollプロセス対応バルブ)

特長

真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。

シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です

弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。

標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。

弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

主な共通仕様(標準)

リーク量 本体:4.0×10-11[pa・m3/s]弁体:1.3×10-10[pa・m3/s
使用温度 本体/弁体:90℃ Actuator:60℃
開閉時間 1.0 – 3.0
材質 本体:アルミニウム 弁体:アルミニウム
シール材:FKM ベローズAM350
操作圧力 0.45-0.55[MPa]
寿命 100万回

角型ゲートバルブの使用例

真空チャンバーのワーク出入口に設置します。

角型ゲートバルブ:ワーク(ウエハーやガラス基板etc)の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

大気-チャンバー間:ドアバルブ
ロードロックチャンバー-トランスファーチャンバー間:同圧バルブ
トランスファーチャンバー-プロセスチャンバー間:逆圧バルブ

角型ゲートバルブの使用例

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