ペンドロールバルブ
丸型ゲートバルブをコンパクト化
ISO・JISのフランジ規格に対応します。
お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。
用途別製品ラインナップ
IPV
FULL OPEN-FULL CLOSE
対応サイズ：160A～500A
3PV
コンダクタンス調整のため、FULL OPEN-FULL CLOSEの中間位置で停止可能。
対応サイズ：160A～500A
APC
コンダクタンス0まで調整可能な圧力制御バルブ
対応サイズ：160A～350A
ブイテックスのペンドロールバルブについて
IPV・3PV・APCタイプ(共通)
- ワンアクションにより確実に動作します。
- シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
- 標準仕様はFullClose/FullOpen動作回数50万回(APCの場合20万回)まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
- 弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
- 弁体部はボルト1本で取り外し可能です。
APCタイプの特徴
専用コントローラーにより確実に性能を発揮します。
- 専用コントローラーには、チャンバー容積に最適なパラメータを算出するラーン機能を搭載しています。
- 高速制御で正確な圧力制御とポジション制御が可能です。
- 2台まで圧力センサーの接続が可能です。
- コンダクタンスゼロ制御が可能です。
主な共通仕様(標準)
| IPV | 3PV | APC | |
|---|---|---|---|
| 対応口径 | 160〜500A | 160〜500A | 160〜350A |
| Heリーク量 （シール部材質 FKMの場合） | 弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s] | 弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s] | 弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s] |
| 使用温度 | 90℃（駆動部：60℃） | 90℃（駆動部：60℃） | 90℃（駆動部：60℃） |
| 操作圧力 | 0.5MPa | 0.5MPa | 電動 |
| 保証期間 | 12ヶ月 | 12ヶ月 | 12ヶ月 |
| バルブ寿命 | 開閉：50万回 ※400A:15万回 ※500A:10万回 (※はオプションで寿命を30万回に延ばせます。) |
開閉：50万回 ※400A:15万回 ※500A:10万回 (※はオプションで寿命を30万回に延ばせます。) |
開閉：20万回 （全閉しない場合の寿命は100万回です。） |
ペンドロールバルブの使用例
真空チャンバーと排気ポンプ間に排気系バルブとして設置します。
ロードロックチャンバーやトランスファーチャンバーには、IPVが使用されます。 プロセスチャンバーには、一定のコンダクタンスを維持する3PVや変動する圧力を一定に保つAPCが使用されます。
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