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ペンドロールバルブ

丸型ゲートバルブをコンパクト化

ISO・JISのフランジ規格に対応します。
お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。

用途別製品ラインナップ

ブイテックスのペンドロールバルブについて

IPV・3PV・APCタイプ(共通)

  • ワンアクションにより確実に動作します。
  • シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
  • 標準仕様はFullClose/FullOpen動作回数50万回(APCの場合20万回)まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
  • 弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
  • 弁体部はボルト1本で取り外し可能です。

APCタイプの特徴

専用コントローラーにより確実に性能を発揮します。

  • 専用コントローラーには、チャンバー容積に最適なパラメータを算出するラーン機能を搭載しています。
  • 高速制御で正確な圧力制御とポジション制御が可能です。
  • 2台まで圧力センサーの接続が可能です。
  • コンダクタンスゼロ制御が可能です。

主な共通仕様(標準)

  IPV 3PV APC
対応口径 160〜500A 160〜500A 160〜350A
Heリーク量 (シール部材質 FKMの場合) 弁体部: 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部(本体): 4.0×10-^10[Pa・m^3/s] 弁体部: 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部(本体): 4.0×10-^10[Pa・m^3/s] 弁体部: 1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部(本体): 4.0×10-^10[Pa・m^3/s]
使用温度 90℃(駆動部:60℃) 90℃(駆動部:60℃) 90℃(駆動部:60℃)
操作圧力 0.5MPa 0.5MPa 電動
保証期間 12ヶ月 12ヶ月 12ヶ月
バルブ寿命 開閉:50万回
※400A:15万回
※500A:10万回
(※はオプションで寿命を30万回に延ばせます。)
開閉:50万回
※400A:15万回
※500A:10万回
(※はオプションで寿命を30万回に延ばせます。)
開閉:20万回
(全閉しない場合の寿命は100万回です。)

ペンドロールバルブの使用例

真空チャンバーと排気ポンプ間に排気系バルブとして設置します。

ロードロックチャンバーやトランスファーチャンバーには、IPVが使用されます。 プロセスチャンバーには、一定のコンダクタンスを維持する3PVや変動する圧力を一定に保つAPCが使用されます。

ペンドロールバルブ使用例

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