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次世代型角型ゲートバルブ

角型ゲートバルブのロードマップ

次世代型角型ゲートバルブ 角型ゲートバルブのロードマップ 半導体製造装置用

RollcamからTrue-Lへの改良点

  • 弁体シール材に不必要な方向の力を与えない
  • パーティクルの低減

Rollcam弁体の動作軌跡

次世代型角型ゲートバルブ Rollcam弁体の動作軌跡

弁体はシール面直下の軸を中心に回転移動する

次世代型角型ゲートバルブ Rollcam弁体の動作軌跡

シール材はシール面に対し、ほぼ垂直に接触する

True-L弁体の動作軌跡

次世代型角型ゲートバルブ True-L弁体の動作軌跡

弁体が水平に移動する

電動化のメリット

1)プロセスに合わせた速度制御
シール材の貼り付きを考慮した緩やかなOPEN動作「③」
Motion開始時&完了時の加減速制御「①②④」

・振動発生の抑制


次世代型角型ゲートバルブ 電動化のメリット
2)Multi Seal機能
逆圧(メンテナンス時)と同圧(生産時)でシール材の潰し量を制御

・シール材の延命化


エア駆動バルブでは、メンテナンス時に生じる逆圧時のシール性能確保のため、
ほぼ同圧で使用されるプロセス時でも弁体シール材に大きな変形を与える荷重で
バルブをCloseしています



3)Valveの異常停止防止による生産の継続
振動センサーとモータートルクをコントローラーへフィードバックすることで異常を検知し、
突発的なValve停止に至る前に、予防的に性能低下情報をFeedbackすることが出来ます

・予防保全機能搭載




4)多種通信仕様(EtherCAT®、DeviceNet)に対応


5)装置上の他機器とのstatus共有による生産性UP

・Iotに対応




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