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よくある質問
Frequently Asked Questions

  よくある質問(超高・高真空用バルブ)   よくある質問(ラプチャーディスク)
 

超高・高真空用バルブ

特殊仕様は受けてもらえますか?
特殊仕様の実績も多数ございます。どのような特殊仕様なのかご教示いただき検討いたします。
 
標準品(在庫)はありますか?
オーダーメイドによるカスタム品が主流のため、標準品の在庫はありません。
 
対応サイズはどの程度ですか?
200mmウェハー〜ガラス基板G8サイズ、円形 500Aの製作実績があります。
 
新たにバルブを手配する際に必要となる項目はなんですか?
開口部サイズ、使用圧力、使用ガス、使用温度、をご教示ください。
納品までの流れ についても参照願います。
 
保証期間はどうなっていますか?
納入後1年が標準となっております。
 
チャンバーとの接続部分に指定はありますか?
御社の接続部に合わせることは可能ですが、真空時の変形などを考慮し当社からご提案させていただく場合があります。
 
正圧・逆圧・同圧の意味は何ですか?
正圧:弁シール面に向かって圧力が掛かる状態です。
逆圧:弁シール面を引きはがす方向に圧力が掛かる状態です。
同圧:弁の両側が同じ圧力の状態です。
 
バルブのHeリーク量はいくつですか?
標準では弁シール部:9×10^-11[Pa・m^3/s]、本体部:4.0×10^-11[Pa・m^3/s]以下です。
 
耐久性は繰返し回数で何回程度ですか?
動作回数の多い搬送系バルブでは標準で100万回となります。
動作頻度の少ない排気系バルブでは標準で30万回となります。
 
使用温度は何度ですか?
標準で弁部:90℃、駆動部:60℃です。
高温では、弁部:150℃、駆動部120℃での製作実績があります。
 
弁開閉許容差圧とは何ですか?
弁開閉時の弁シール面側と反対側の圧力差になります。
 
圧空喪失時に弁閉を保持出来ますか?
メカ的に保持する機構と、エアー回路で保持する機構を選択することが可能です。
 
修理・OHは受けてもらえますか?
当社バルブは修理・OH可能です。
装置メーカー様からOEM品扱いとなるケースでは、直接取引が出来ない場合もございます。
担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
価格表はないのですか?
オーダーメードによる製作が主なため、価格表はございません。
御問い合わせページより、数項目の仕様をご教示頂ければ、ベースとなるバルブの概算金額を提示することは可能です。
 
海外のサポート体制はどうなっていますか?
韓国に営業・サービス拠点がございます。
 
打合せ等で設計者の派遣は可能ですか?
国内設計ですので、設計者の派遣は可能です。
派遣をご希望する場合は、担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
海外からの注文は可能ですか?
当社の海外営業部にて対応いたします。
 
過去にどれぐらいの納入実績がありますか?
90年代中頃から現在に至るまで、多数の実績がございます。
 
製作はどこで行っていますか?
日本国内(茨城県ひたちなか市)の自社工場で製作しています。
 
部品のみの注文は可能ですか?
部品交換による保証の問題があるためお断りするケースが多いですが、検討させていただきますので、 担当営業マンかお問い合わせからのご連絡をお待ちしております。
また、装置メーカー様のOEM扱いとなることが多いためエンドユーザー様への直接販売が出来ないケースが多いです。
 
標準的な納期はどれくらいですか?
オーダーメードということもあり、標準では60〜75日程度です。
短納期対応が必要であれば、ご相談をお願いいたします。
 
他社製バルブの改造・メンテナンスは受けてもらえますか?
保証の問題がありお断りしておりますが、現状でお困りの事象をご教示いただければ、何かしらアドバイスをさせていただきます。
 
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ラプチャーディスク

ラプチャーディスクの製作はどこで行っていますか?
日本国内(茨城県ひたちなか市)の自社工場で製作しています。
 
保証期間はどうなっていますか?
保証期間は当社工場出荷後12ヶ月です。
 
予備ディスクを購入したいのですが何を連絡すればいいですか?
当社の図面番号、または梱包箱に記載されているMANAGEMENT No.をお知らせください。
 
ブイテックスのラプチャーディスクが他メーカーより優れている点はどこですか?
性能と品質です。その実力は各原子力プラントへの正式採用等で証明されています。 また受注・設計・製造を国内で一貫して実施することにより、柔軟な対応が可能なことは他社にないメリットと考えております。
 
打合せ等で設計者の派遣は可能ですか?
もちろん可能です。ラプチャーディスク専任の設計者がお伺いいたします。
 
標準的な納期はどれくらいですか?
通常は予備ディスクで30日間、ホルダーとディスクのセットですと45日間で対応させていただいております。 緊急の場合は特急対応もいたしますのでご相談ください。
 
標準品(在庫)はありますか?
申し訳ありませんがお客様のご仕様に応じ最適化された商品をご提案させていただく関係上、標準品(在庫)はございません。
 
予備ディスクは1枚からでも購入できますか?
基本は4枚/1setですが1枚からでも販売可能です。お見積りについては担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
部品のみの注文は可能ですか?
部品のみのご注文も承っております。
 
ラプチャーディスクと安全弁との違いは何ですか?
故障の可能性がつきまとう安全弁と異なりラプチャーディスクは設定圧力で確実に圧力を開放することが可能です。 ただし、ラプチャーディスクは設定圧力でいったん破裂すると全開となり、流体がなくなるまで開放したままですが(吹き止まりなし)、 安全弁は設定圧力での開放後、設定圧力を下回ると弁が閉じ、流体の放出が止まります(吹き止まりあり)。
 
製作が可能な一番大きいサイズはどのくらいですか?
型式により異なりますが、900A迄の製作実績があります。詳細は担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
ラプチャーディスクの交換周期、または寿命は何年ですか?
(破裂しないまま数年経過していますが交換は必要でしょうか?)
当社では、安全上の見地から1年ごとに新しい予備ディスクへの交換を推奨しております。破裂しないディスクであっても、 交換後1年が経過いたしましたら、新しい予備ディスクへの交換をお願いいたします。
 
交換推奨期限を超過して使用した場合はどうなりますか?
ディスク部分は経年劣化するため、(製作時の性能を満足せず)設定した圧力よりも低い圧力(低圧)で破裂をしてしまう可能性があります。
 
数がまとまった場合は安くしてもらえますか?
別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
海外からの注文は可能ですか?
海外からのご注文は、通常商社様経由でのお取引をお願いしておりますが可能です。
 
外国語でのドキュメント(仕様書等)でも対応は可能ですか?
可能です。なお、英語・韓国語・中国語以外の言語については、別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
特殊仕様は受けてもらえますか?
お客様のご要望に基づき最適なご提案をいたしますので、別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
ラプチャーディスクに関する法規はどんなものがありますか?
高圧ガス保安法や圧力容器構造規格などがあります。
 
反転型ディスクに流体が接液したらどうなりますか?
液体が接液した場合は、破裂圧力に影響する場合があります。ただし、流体がミスト状の場合はこの限りではありません。
 
接続が特殊な場合でも製作は可能でしょうか?
対応可能な場合もありますので、別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
特殊材料での納入実績はありますか?
強腐食性流体用としてタンタル、インコネル等を用いたディスクの製作実績があります。
 
使用途中に運転仕様を変更した場合はどうしたらいいですか?
ディスク部を、変更後の仕様にあわせて再度製作しなければならない可能性がありますので、別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
他社製ホルダーに合うディスク製作は受けてもらえますか?
対応可能な場合もありますので、別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
ホルダーの重量が重いのですが材質を変更したり軽くすることは可能ですか?
また改良する予定はありますか?
ホルダーの重量軽減は困難ですが、ディスクを直接フランジに挟み込むタイプもございます。
別途担当者、または こちら からお問い合わせください。
 
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