Gate Valve 角型ゲートバルブ

シンプルな部品構成で小型化を実現

標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。
ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。

用途別製品ラインナップ

当社では締切能力により主に3種類に分類しています。

• ドアバルブ

  

  弁体シール方向に大気圧を受けるバルブ

• 同圧バルブ

  

  同圧状態で使用されるバルブ

• 逆圧バルブ

  

  弁体シール方向と逆の方向に力を受けるバルブ

ブイテックスの角型ゲートバルブについて

特長

• 真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
• シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です
• 弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。
• 標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
• 弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

主な共通仕様（標準）

角型ゲートバルブの使用例

• 真空チャンバーのワーク出入口に設置します。

  角型ゲートバルブは、ワーク（ウエハーやガラス基板etc）の出入り口として大気／チャンバー間、
  チャンバー／チャンバー間の仕切りとして使用されます。
  
  ▼角型ゲートバルブ使用例
  ドアバルブ：大気／チャンバー間
  同圧バルブ：ロードロックチャンバー／トランスファーチャンバー間
  逆圧バルブ：トランスファーチャンバー／プロセスチャンバー間