Q&A よくあるご質問

Q. 特殊仕様は製作してもらえますか？

A. 特殊仕様の実績も多数ございます。どのような特殊仕様なのかご教示いただければ、検討いたします。

Q. 標準品（在庫）はありますか？

A. オーダーメイドによるカスタム品が主流のため、標準品の在庫はありません。

Q. 対応サイズはどの程度ですか？

A. 200mmウエハー～ガラス基板G11サイズ、円形　550Aまで製作可能です。

Q. 新たにバルブを手配する際に、必要となる項目はなんですか？

A. 開口部サイズ、使用圧力、使用ガス、使用温度、をご教示ください。「仕様一覧表」ページも参照願います。

Q. 保証期間はどうなっていますか？

A. 納入後1年が標準となっております。

Q. チャンバーとの接続部分に指定はありますか？

A. 貴社の接続部に合わせることは可能ですが、真空時の変形などを考慮し当社からご提案させていただく場合があります。

Q. 正圧・逆圧・同圧の意味は何ですか？

A. 正圧：弁シール面に向かって圧力が掛かる状態です。
逆圧：弁シール面を引きはがす方向に圧力が掛かる状態です。
同圧：弁の両側が同じ圧力の状態です。

Q. バルブのHeリーク量はいくつですか？

A. 標準では弁シール部：9×10^-11[Pa・m^3/s]、本体部：4.0×10^-11[Pa・m^3/s]以下です。

Q. 耐久性は繰返し回数で何回程度ですか？

A. 動作回数の多い角型ゲートバルブでは標準で100万回となります。動作回数の少ないペンドロールバルブでは標準で30万回（φ350以下）となります。

Q. 使用温度は何度ですか？

A. 標準で弁部：90℃、駆動部：60℃です。高温では、弁部：150℃、駆動部120℃での製作実績があります。

Q. 弁開閉許容差圧とは何ですか？

A. 弁開閉時の弁シール面側と反対側の圧力差になります。

Q. 圧空喪失時に弁閉を保持出来ますか？

A. メカ的に保持する機構と、エア回路で保持する機構を選択することが可能です。

Q. 修理・OHは受けてもらえますか？

A. 当社バルブは修理・OH可能です。 担当者、または「お問い合わせフォーム」よりご連絡ください。

Q. 価格表はないのですか？

A. オーダーメードによる製作が主なため、価格表はございません。 お問い合わせページより、数項目の仕様をご教示いただければ、ベースとなるバルブの概算金額を提示することは可能です。

Q. 海外のサポート体制はどうなっていますか？

A. アメリカ、中国、韓国に営業・サービス拠点がございます。

Q. 打合せ等で設計者の派遣は可能ですか？

A. 仕様打合せ等への設計者派遣は可能です。設計者との仕様打合せをご希望の場合は、担当者、または「お問い合わせフォーム」よりご連絡ください。

Q. 海外からの注文は可能ですか？

A. 当社の海外営業部にて対応いたします。

Q. 過去にどれぐらいの納入実績がありますか？

A. 90年代中頃から現在に至るまで、多数の実績がございます。

Q. 製作はどこで行っていますか？

A. 東海工場、東舞鶴工場、ブイテックス・コリアで製作しています。

Q. 部品のみの注文は可能ですか？

A. 部品交換による保証の問題があるためお断りするケースが多いですが、検討させていただきますので、営業担当者、または「お問い合わせフォーム」からのご連絡をお待ちしております。
また、装置メーカー様のOEM扱いとなることが多いためエンドユーザー様への直接販売ができないケースがあります。

Q. 他社製バルブの改造・メンテナンスは受けてもらえますか？

A. 保証の問題がありお断りしておりますが、現状でお困りの事象をご教示いただければ、何らかのご提案をさせていただきます。