ペンドロールバルブ

Penduroll Valve

TOP製品情報真空バルブペンドロールバルブ

丸型ゲートバルブをコンパクト化

ISO・JISのフランジ規格に対応します。
お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。

用途別製品ラインナップ

  • IPV
    IPV

    FULL OPEN-FULL CLOSE
    対応口径：150A～550A

  • 3PV
    3PV

    コンダクタンス調整のため、FULL OPEN-FULL CLOSEの中間位置で停止可能。
    対応口径：150A～550A

  • APC
    APC

    コンダクタンス0まで調整可能な圧力制御バルブ
    対応口径：150A～350A

ブイテックスのペンドロールバルブについて

IPV・3PV・APCタイプ(共通)
  • ワンアクションにより確実に動作します。
  • シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
  • 標準仕様はFullClose/FullOpen動作回数50万回(APCの場合20万回)まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
  • 弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
  • 弁体部はボルト1本で取り外し可能です。
APCタイプの特徴

専用コントローラーにより確実に性能を発揮します。

  • 専用コントローラーには、チャンバー容積に最適なパラメータを算出するラーン機能を搭載しています。
  • 高速制御で正確な圧力制御とポジション制御が可能です。
  • 2台まで圧力センサーの接続が可能です。
  • コンダクタンス0制御が可能です。

主な共通仕様（標準）

IPV 3PV APC
対応口径 150A〜550A 150A〜550A 150A〜350A
リーク量 弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s]以下
外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s]以下 		弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s]以下
外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s]以下 		弁体部： 1.3×10-^10[Pa・m^3/s]以下
外部（本体）： 4.0×10-^10[Pa・m^3/s]以下
使用温度 90℃（駆動部：60℃） 90℃（駆動部：60℃） 90℃（駆動部：60℃）
操作圧力 0.5MPa 0.5MPa 電動
保証期間 12ヶ月 12ヶ月 12ヶ月
バルブ寿命 開閉：50万回
※400A:15万回
※500A:10万回
※オプションで寿命を30万回に延ばせます。 		開閉：50万回
※400A:15万回
※500A:10万回
※オプションで寿命を30万回に延ばせます。 		開閉：20万回
※全閉しない場合の寿命は100万回です。

ペンドロールバルブの使用例

  • 真空チャンバーと排気ポンプ間に排気系バルブとして設置します。

    ロードロックチャンバーやトランスファーチャンバーには、IPVが使用されます。
    プロセスチャンバーには、一定のコンダクタンスを維持する3PVや変動する圧力を一定に保つAPCが使用されます。

    真空チャンバーと排気ポンプ間に排気系バルブとして設置します。