Vacuum Valve 真空バルブ
産業テクノロジーの発展を支える真空バルブ
当社は真空装置発展の初期より、ハイパフォーマンスバルブの専門メーカーとして設計、開発、生産までを一貫して
行っており、日本国内はもとより世界中の最新テクノロジーの発展に貢献しております。
真空バルブとは
当社は、ウエハー(ワーク)の出入口で真空チャンバーと大気間や真空チャンバー間を遮断する角型ゲートバルブと、真空チャンバーと排気ポンプの間に設置するペンドロールバルブをラインナップしています。小口径から大口径・あらゆる業界・装置向けに当社の真空バルブは、微細化・生産性向上・低コスト・短納期など、ますます厳しくなるご要求にお応えします。
製品ラインナップ
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Rollcam Gate Valve
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True L-Motion Gate Valve
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Small Size Rollcam Gate Valve
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IPV
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3PV
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APC