1. 株式会社ブイテックス(JP)
  2. 주식회사 VTEX(KR)
  3. 진공밸브

진공밸브

산업 테크놀로지의 발전을 뒷받침하는 진공밸브

당사는 진공 장치 발전의 초기부터 하이 퍼포먼스 밸브의 전문 메이커로써 설계, 개발, 생산까지 일관되게 실시하고 있어,일본 국내는 물론 전 세계의 최신 테크놀로지의 발전에 공헌하고 있습니다.

진공밸브란

당사는, 웨이퍼(wafer)의 출입구에서 진공 챔버와 대기 사이나 진공 챔버 사이를 차단하는 사각형 Gate Valve와 진공 챔버와 배기 펌프의 사이에 설치하는 Penduroll Valve를 라인 업 하고 있습니다.
소구경(小口径)에서 대구경(大口径)·모든 업계·장치용으로 당사의 진공용 밸브는, 미세화·생산성 향상·저비용·단납기 등, 더욱 더 어려워지는 요구에 대응합니다.

제품에서 선택

Rollcam Gate Val

Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

True L Motion Gate Valve

True L Motion Gate Valve

Gate Valve T Motion NewGateValveT-Motion

Gate Valve T Motion

Small size Rollcam Gat Valve

Small size Rollcam Gate Valve

R2R Valve

R2R Valve

Isolation Penduroll Valve (IPV)

Isolation Penduroll Valve (IPV)

Three-Position Penduroll Valve(3PV)

Three-Position Penduroll Valve(3PV)

APC Penduroll Valve

APC Penduroll Valve

Controller VZ-1000G VZ-2000G Controller

Controller VZ-1000G VZ-2000G

Flow Control Valve

Flow Control Valve

Special Valve

Special Valve

업계별 도입 실적

  • 반도체

    반도체

  • 액정 디스플레이

    액정 디스플레이

  • 태양전지

    태양전지

  • 유기발광다이오드

    유기발광다이오드

  • 의료

    의료

  • 연구・개발

    연구・개발

  • 발광다이오드

    발광다이오드

  • 수정 디바이스

    수정 디바이스

  • 하드디스크 드라이브

    하드디스크 드라이브

  • 야금

    야금

  • 물리학, 화학

    물리학, 화학

  • 우주

    우주

장치 별 사용 예

  • 진공증착

    Vacuum evaporation
  • 에칭

    Etching
  • 아싱

    Ashing
  • 스패터링

    Sputtering
  • PVD
  • CVD
  • 에피택시얼
    필름 형성

    Epitaxial film formation
  • 이온주입

    Ion implantaion
  • 어닐링

    Annealing
  • 글로브 박스Glove box
  • 진공로Vacuum furnace
  • ALD
  • 롤투롤 장치Roll-to-Roll apparatus
  • 스페이스 챔버Space chamber
  • 용해로Melting furnace
  • 방사광시설Synchrotron radiation facility
  • SEM
  • 드라이세정Dry cleaning

CONTACT

WEB에서의 문의

WEB에서 문의는 여기

문의사항 양식

전화로 문의하는 경우

전화로 문의는 여기

(VTEX:일본)

+81-3-3765-4161

(VTEX:한국)

+82-31-686-5381

(VTEX:중국)

+86-(0)21-6295-0800

(VTEX:미국)

+1-408-432-7200

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