진공밸브
산업 테크놀로지의 발전을 뒷받침하는 진공밸브
당사는 진공 장치 발전의 초기부터 하이 퍼포먼스 밸브의 전문 메이커로써 설계, 개발, 생산까지 일관되게 실시하고 있어,일본 국내는 물론 전 세계의 최신 테크놀로지의 발전에 공헌하고 있습니다.
진공밸브란
당사는, 웨이퍼(wafer)의 출입구에서 진공 챔버와 대기 사이나 진공 챔버 사이를 차단하는 사각형 Gate Valve와 진공 챔버와 배기 펌프의 사이에 설치하는 Penduroll Valve를 라인 업 하고 있습니다.
소구경(小口径)에서 대구경(大口径)·모든 업계·장치용으로 당사의 진공용 밸브는, 미세화·생산성 향상·저비용·단납기 등, 더욱 더 어려워지는 요구에 대응합니다.
제품에서 선택
Rollcam Gate Valve
Twin Rollcam Gate Valve
True L Motion Gate Valve
Gate Valve T Motion
Small size Rollcam Gate Valve
R2R Valve
Isolation Penduroll Valve (IPV)
Three-Position Penduroll Valve(3PV)
APC Penduroll Valve
Controller VZ-1000G VZ-2000G
Flow Control Valve
Special Valve
업계별 도입 실적
반도체
액정 디스플레이
태양전지
유기발광다이오드
의료
연구・개발
발광다이오드
수정 디바이스
하드디스크 드라이브
야금
물리학, 화학
우주
장치 별 사용 예
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진공증착
Vacuum evaporation -
에칭
Etching -
아싱
Ashing -
스패터링
Sputtering -
PVD
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CVD
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에피택시얼
Epitaxial film formation
필름 형성 -
이온주입
Ion implantaion -
어닐링
Annealing -
글로브 박스Glove box
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진공로Vacuum furnace
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ALD
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롤투롤 장치Roll-to-Roll apparatus
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스페이스 챔버Space chamber
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용해로Melting furnace
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방사광시설Synchrotron radiation facility
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SEM
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드라이세정Dry cleaning
