真空閥門
為產業技術的發展做貢獻的真空閥門
敝司從真空設備的初期開始，作為高品質閥門的生產廠家，一直貫徹著閥門的設計、開發和生產。不僅針對日本國內，同時也為全世界的最新科技做著貢獻。
何謂真空閥門
敝司主要的產品是，作為硅晶片的出入口的真空腔體和真空腔體之間、或者是與大氣之間的隔離用矩形傳輸閥，和真空腔體與真空泵之間的擺閥。產品口徑從小到大都可以對應。並且可以根據客戶需求，滿足各類 精細化、生產效率提高、低成本、短交期等嚴格的要求。
產品分類
Rollcam Gate Valve
Twin Rollcam Gate Valve
True L Motion Gate Valve
Gate Valve T Motion
Small size Rollcam Gate Valve
R2R Valve
Isolation Penduroll Valve（IPV）
Three-position Penduroll Valve（3PV）
APC Penduroll Valve
Controller VZ-1000G VZ-2000G
Flow Control Valve
Special Valve
業界實績分類
半導體
液晶顯示
太陽能
有機發光
醫療
研究和開發
發光二極體
晶體元件
硬碟
冶金
物理化學
太空
設備分類
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真空鍍膜
Vacuum evaporation -
蝕刻
Etching -
拋光
Ashing -
濺射
Sputtering -
PVD
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CVD
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外延成膜
Epitaxial film formation -
離子注入
Ion implantaion -
退火
Annealing -
手套箱Glove box
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真空爐Vacuum furnace
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ALD
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RtoR設備Roll to Roll apparatus
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環模腔Space chamber
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溶解爐Melting furnace
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放射設施Synchrotron radiation facility
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SEM
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乾洗淨Dry cleaning
