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  3. 真空閥門

真空閥門

為產業技術的發展做貢獻的真空閥門

敝司從真空設備的初期開始,作為高品質閥門的生產廠家,一直貫徹著閥門的設計、開發和生產。不僅針對日本國內,同時也為全世界的最新科技做著貢獻。

何謂真空閥門

敝司主要的產品是,作為硅晶片的出入口的真空腔體和真空腔體之間、或者是與大氣之間的隔離用矩形傳輸閥,和真空腔體與真空泵之間的擺閥。產品口徑從小到大都可以對應。並且可以根據客戶需求,滿足各類 精細化、生產效率提高、低成本、短交期等嚴格的要求。

產品分類

Rollcam Gate Val

Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

True L Motion Gate Valve

True L Motion Gate Valve

Gate Valve T Motion NewGateValveT-Motion

Gate Valve T Motion

Small size Rollcam Gate Valve

Small size Rollcam Gate Valve

R2R 閥門

R2R Valve

隔離 滾輥閥(IPV)

Isolation Penduroll Valve(IPV)

Three-position Penduroll Valve(3PV)

Three-position Penduroll Valve(3PV)

APC Penduroll Valve

APC Penduroll Valve

Controller VZ-1000G VZ-2000G Controller

Controller VZ-1000G VZ-2000G

Flow Control Valve

Flow Control Valve

特殊閥門

Special Valve

業界實績分類

  • 真空用バルブ 半導体 導入実績半導體
  • 真空用バルブ 液晶ディスプレイ 導入実績液晶顯示
  • 真空用バルブ 太陽電池 導入実績太陽能
  • 真空用バルブ 有機発光ダイオード 導入実績有機發光
  • 真空用バルブ 医療 導入実績醫療
  • 真空用バルブ 研究・開発 導入実績研究和開發
  • 真空用バルブ 発光ダイオード 導入実績發光二極體
  • 真空用バルブ 水晶デバイス 導入実績晶體元件
  • 真空用バルブ ハードディスクドライブ 導入実績硬碟
  • 真空用バルブ 冶金 導入実績冶金
  • 真空用バルブ 理化学 導入実績物理化學
  • 真空用バルブ 宇宙 導入実績太空

設備分類

  • 真空鍍膜

    Vacuum evaporation
  • 蝕刻

    Etching
  • 拋光

    Ashing
  • 濺射

    Sputtering
  • PVD
  • CVD
  • 外延成膜

    Epitaxial film formation
  • 離子注入

    Ion implantaion
  • 退火

    Annealing
  • 手套箱Glove box
  • 真空爐Vacuum furnace
  • ALD
  • RtoR設備Roll to Roll apparatus
  • 環模腔Space chamber
  • 溶解爐Melting furnace
  • 放射設施Synchrotron radiation facility
  • SEM
  • 乾洗淨Dry cleaning

CONTACT

真空閥門的諮詢

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