真空阀门
为产业技术的发展做贡献的真空阀门
敝司从真空设备的初期开始，作为高品质阀门的生产厂家，一直贯彻着阀门的设计、开发和生产。不仅针对日本国内，同时也为全世界的最新科技做着贡献。
何谓真空阀门
敝司主要的产品是，作为硅晶片的出入口的真空腔体和真空腔体之间、或者是与大气之间的隔离用矩形传输阀，和真空腔体与真空泵之间的摆阀。产品口径从小到大都可以对应。并且可以根据客户需求，满足各类 精细化、生产效率提高、低成本、短交期等严格的要求。
产品分类
Rollcam Gate Valve
Twin Rollcam Gate Valve
True L Motion Gate Valve
Gate Valve T Motion
Small size Rollcam Gate Valve
R2R Valve
Isolation Penduroll Valve（IPV）
Three-position Penduroll Valve（3PV）
APC Penduroll Valve
Controller VZ-1000G VZ-2000G
Flow Control Valve
Special Valve
业界实绩分类
半导体
液晶显示
太阳能
有机发光
医疗
研究和开发
发光二极管
晶体元件
硬盘
冶金
物理化学
太空
设备使用示例
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真空镀膜
Vacuum evaporation -
蚀刻
Etching -
抛光
Ashing -
溅射
Sputtering -
PVD
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CVD
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外延成膜
Epitaxial film formation -
离子注入
Ion implantaion -
退火
Annealing -
手套箱Glove box
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真空炉Vacuum furnace
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ALD
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R to R设备Roll to Roll apparatus
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环模腔Space chamber
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溶解炉Melting furnace
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放射设施
Synchrotron
radiation facility -
SEM
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干洗净Dry cleaning
