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真空阀门

为产业技术的发展做贡献的真空阀门

敝司从真空设备的初期开始,作为高品质阀门的生产厂家,一直贯彻着阀门的设计、开发和生产。不仅针对日本国内,同时也为全世界的最新科技做着贡献。

何谓真空阀门

敝司主要的产品是,作为硅晶片的出入口的真空腔体和真空腔体之间、或者是与大气之间的隔离用矩形传输阀,和真空腔体与真空泵之间的摆阀。产品口径从小到大都可以对应。并且可以根据客户需求,满足各类 精细化、生产效率提高、低成本、短交期等严格的要求。

产品分类

Rollcam Gate Valve

Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

Twin Rollcam Gate Valve

True L Motion Gate Valve

True L Motion Gate Valve

Gate Valve T Motion NewGateValveT-Motion

Gate Valve T Motion

Small size Rollcam Gate Valve

Small size Rollcam Gate Valve

R to R Valve

R2R Valve

Isolation Penduroll Valve(IPV)

Isolation Penduroll Valve(IPV)

Three-position Penduroll Valve(3PV)

Three-position Penduroll Valve(3PV)

APC Penduroll Valve

APC Penduroll Valve

Controller VZ-1000G VZ-2000G

Controller VZ-1000G VZ-2000G

Flow Control Valve

Flow Control Valve

Special Valve

Special Valve

业界实绩分类

  • 真空用バルブ 半導体 導入実績半导体
  • 真空用バルブ 液晶ディスプレイ 導入実績液晶显示
  • 真空用バルブ 太陽電池 導入実績太阳能
  • 真空用バルブ 有機発光ダイオード 導入実績有机发光
  • 真空用バルブ 医療 導入実績医疗
  • 真空用バルブ 研究・開発 導入実績研究和开发
  • 真空用バルブ 発光ダイオード 導入実績发光二极管
  • 真空用バルブ 水晶デバイス 導入実績晶体元件
  • 真空用バルブ ハードディスクドライブ 導入実績硬盘
  • 真空用バルブ 冶金 導入実績冶金
  • 真空用バルブ 理化学 導入実績物理化学
  • 真空用バルブ 宇宙 導入実績太空

设备使用示例

  • 真空镀膜

    Vacuum evaporation
  • 蚀刻

    Etching
  • 抛光

    Ashing
  • 溅射

    Sputtering
  • PVD
  • CVD
  • 外延成膜

    Epitaxial film formation
  • 离子注入

    Ion implantaion
  • 退火

    Annealing
  • 手套箱Glove box
  • 真空炉Vacuum furnace
  • ALD
  • R to R设备Roll to Roll apparatus
  • 环模腔Space chamber
  • 溶解炉Melting furnace
  • 放射设施

    Synchrotron
    radiation facility
  • SEM
  • 干洗净Dry cleaning

CONTACT

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