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真空用バルブ

産業テクノロジーの発展を支える真空用バルブ

当社は真空装置発展の初期より、ハイパフォーマンスバルブの専門メーカーとして設計、開発、生産までを一貫して行っており、日本国内はもとより世界中の最新テクノロジーの発展に貢献しております。

真空用バルブとは

当社は、ウエハー(ワーク)の出入口で真空チャンバーと大気間や真空チャンバー間を遮断する角型ゲートバルブと、真空チャンバーと排気ポンプの間に設置するペンドロールバルブ をラインナップしています。小口径から大口径・あらゆる業界・装置向けに当社の真空用バルブは、微細化・生産性向上・低コスト・短納期など、ますます厳しくなるご要求にお応えします。

製品から選ぶ

真空用バルブ RollcamGateValve

Rollcam Gate Valve

真空用バルブ TwinRollcamGateValve

Twin Rollcam Gate Valve

真空用バルブ TrueLMotionGateValve

True L Motion Gate Valve

真空用バルブ NewGateValveT-Motion

Gate Valve T Motion

真空用バルブ SmallSizeRollcamGateValue

Small size Rollcam Gat Valve

真空用バルブ R2R Valve

R2R Valve

真空用バルブ アイソレーション ペンドロールバルブ(IPV)

アイソレーション ペンドロールバルブ(IPV)

真空用バルブ 3ポジション ペンドロールバルブ(3PV)

3ポジション ペンドロールバルブ(3PV)

真空用バルブ ApcPendurollValv

APC Penduroll Valve

真空用バルブ Controller

Controller VZ-1000G VZ-2000G

真空用バルブ FlowControllValve

Flow Control Valve

特殊バルブ

特殊バルブ

次世代の要求に応える「3つのZERO」

次世代半導体装置に対応する「3つのZERO」をテーマにしたバルブです。

Particle ZeroTrue-L Motion Gate Valve
Electric True-L Motion Gate Valve
パーティクルが限りなく「ゼロ」!

Vibration ZeroElectric True-L Motion Gate Valve振動がほとんど「ゼロ」!

Conductance ZeroAPC Penduroll Valve圧力制御中の最小コンダクタンスが「ゼロ」!

業界別導入実績

  • 真空用バルブ 半導体 導入実績半導体
  • 真空用バルブ 液晶ディスプレイ 導入実績液晶ディスプレイ
  • 真空用バルブ 太陽電池 導入実績太陽電池
  • 真空用バルブ 有機発光ダイオード 導入実績有機発光ダイオード
  • 真空用バルブ 医療 導入実績医療
  • 真空用バルブ 研究・開発 導入実績研究・開発
  • 真空用バルブ 発光ダイオード 導入実績発光ダイオード
  • 真空用バルブ 水晶デバイス 導入実績水晶デバイス
  • 真空用バルブ ハードディスクドライブ 導入実績ハードディスクドライブ
  • 真空用バルブ 冶金 導入実績冶金
  • 真空用バルブ 理化学 導入実績理化学
  • 真空用バルブ 宇宙 導入実績宇宙

装置別活用例

  • 真空蒸着

    Vacuum evaporation
  • エッチング

    Etching
  • アッシング

    Ashing
  • スパッタリング

    Sputtering
  • PVD
  • CVD
  • エピタキシャル
    成膜

    Epitaxial film formation
  • イオン注入

    Ion implantaion
  • アニール

    Annealing
  • グローブ
    ボックスGlove box
  • 真空炉Vacuum furnace
  • ALD
  • ロール to
    ロール装置Roll-to-Roll apparatus
  • スペース
    チャンバーSpace chamber
  • 溶解炉Melting furnace
  • 放射光施設Synchrotron radiation facility
  • SEM
  • ドライ洗浄Dry cleaning

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