製品情報
ロールカムゲートバルブ
ロールカムゲートバルブの特長
- Lモーション動作
- 腐食環境のプロセスにも適応
- 無摺動パーティクルフリー
- クローズエンドロック機構付き
- ２００万回ライフサイクル
- メンテナンスが簡単
ロールカムゲートバルブの効果
- 高耐久性・長寿命による「ランニングコストの削減」
- イージーメンテナンスによる「メンテナンス時間の短縮」
- パーティクルフリーによる「歩留まりの向上」
- 高シール性能による「品質の向上」
ロールカムゲートバルブの基本仕様
| ポートサイズ (w x h) | 336 x 50 | |
|---|---|---|
| Heリーク量 (Pa･m3/sec) |
外部リーク (Body) | 4 x 10-11 |
| 内部リーク (Seat) | 1.3 x 10-10 | |
| 設計温度 (℃) | 90 | |
| 60 | ||
| 開閉許容差圧 (Pa) | 5000 | |
| 操作圧力 (MPa) | 0.45 〜 0.60 | |
| 開閉時間 (sec) | 1 +/-0.2 | |
| バルブ寿命 (cycles) | 200万回 | |
| 材質 ※主な真空部材 | Body and Gate | A5052 |
| Stem (Shaft) | SUS316L | |
| Bellows | AM350 | |
| Seal | FKM | |