製品情報
ペンドロールバルブ(Isolation Valve)
ペンドロールバルブ(Isolation Valve)
- 圧力制御と真空封止両機能バルブ
- 低パーティクル、高信頼性
- 取り扱い易いワン・アクション動作
- 半導体関連腐食性プロセスに最適
- クリーニングとメンテナンスが容易
- 圧空作動による確実な作動
ペンドロールバルブ(Isolation Valve)の基本仕様
| ポートサイズ (φ) | 160 〜 400 | |
|---|---|---|
| Heリーク量※ (Pa･m3/sec) |
本体 | 1.3 x 10-10 |
| 弁座 | 1.3 x 10-10 | |
| 設計温度 (℃) | 本体 | MAX. 90 |
| 駆動操作部 | MAX. 60 | |
| 開時許容差圧 (Pa) | 2.66 x 103 以下 | |
| 操作圧力 (Pa) | 0.45 〜 0.6M | |
| リードスイッチ | DC24V： 5〜50mA AC100V： 5〜25mA |
|
| バルブ取付姿勢 | 水平（その他取付姿勢はご相談下さい） | |
| バルブ寿命(cycles) | 50万回 （呼び経400：5万回） | |
| 材質 | 本体 | 鋳造アルミニウム(AC4CH) |
| ゲート | アルミニウム(A5052) | |
※リーク量は、表面処理、シール材によりことなります。
ベンドロールバルブ(APC Valve)のカタログはこちら
