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ロールカムゲートバルブ
Series R1 ロールカムゲートバルブ（本体付）
真空装置システムに最適な、コンパクトでパーティクルフリーなゲート型バルブ
Series R2 ロールカムゲートバルブ（インサート型）
真空装置システムに直接組込み可能な、コンパクトでパーティクルフリーなバルブ
Series R3 ツインロールカムゲートバルブ（本体付）
真空装置システムに最適な、コンパクトでパーティクルフリーなゲート型バルブ
Series R4 ツインロールカムゲートバルブ（インサート型）
真空装置システムに直接組込み最適な、コンパクトでパーティクルフリーなバルブ
ペンドロールゲートバルブ
Series P1 ペンドロールゲートバルブ（Isolation型）
半導体関連腐食プロセスに最適な、省スペースで低パーティクルなバルブ 扱い易いワン・アクション動作タイプ
Series P2 ペンドロールゲートバルブ（3-Position型）
半導体関連腐食プロセスに最適な、低パーティクルなバルブ全開・全閉に加え任意の位置に停止して中間圧力制御を行う機能付き
Series P3 ペンドロールゲートバルブ（APC型）
半導体関連腐食プロセスに最適な、低パーティクルなバルブ圧力コントローラーにより、無段階の圧力制御を可能としました
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