製品情報
ボクサースリットバルブ
ボクサースリットバルブの特長
- 超低振動、静かな動作
- シール面に対し完璧な垂直シール動作を行うため、O-ring捻れを低減
- O-ringが長寿命化すなわちメンテサイクルも長期化
- 低パーティクル
- メンテナンスが簡単
- お手ごろ価格
ボクサースリットバルブの基本仕様
| ポートサイズ (w x h) | 1550 x 100 | |
|---|---|---|
| Heリーク量 (Pa･m3/sec) |
外部リーク (Body) | 4 x 10-11(3.0x10-10 Torr･L/s) |
| 内部リーク (Seat) | 1.3 x 10･-10(1.0x10-9 Torr･L/s) | |
| 開閉時間 (sec) | 4（開閉一回に付き） | |
| バルブ重量 (kgf) | 230 | |
| 材質 | 本体 (Body) 弁体 (Gate) |
A5052 |
| 弁体Ｏリング (Gate O-ring) |
FKM (Hs70) | |
