製品情報
ベンドロールバルブ(APC Valve)
ベンドロールバルブ(APC Valve)
- 圧力制御と真空封止両機能バルブ
- コンダクタンスゼロまで制御可能であるため高圧領域まで制御可能
- ステップモータ作動による確実な圧力コントロール
- 半導体関連腐食性プロセスに最適
- クリーニングとメンテナンスが容易
- 低パーティクル、高信頼性
ベンドロールバルブ(APC Valve)の基本仕様
| ポートサイズ (φ) | 160 〜 400 | |
|---|---|---|
| Heリーク量※ (Pa･m3/sec) |
外部リーク (Body) | 1.3 x 10-10 |
| 内部リーク (Seat) | 1.3 x 10-10 | |
| 設計温度 (℃) | 90 | |
| 60 | ||
| 開閉許容差圧 (Pa) | 2.66x103 | |
| バルブ寿命 (cycles) | 全開〜完全閉 | 20万回 |
| 全開〜コントロール閉位置 | 100万回 | |
| 材質 | 本体 | 鋳造アルミニウム(AC4CH) |
| ゲート | アルミニウム(A5052) | |
| バルブ取付姿勢 | 水平（その他取付姿勢はご相談ください） | |
※リーク量は、表面処理、シール材によりことなります。
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