製品情報
ペンドロールバルブ(3-Position valve)
ペンドロールバルブ(3-Position valve)
- 全開、全閉と任意の位置に停止して真空封止と中間圧力制御が可能な両機能付バルブ
- 中間圧力制御機構兼用によるシステムの省スペース、ローコスト化に貢献
- 圧空作動による確実な作動
- 半導体関連腐食性プロセスに最適
- クリーニングとメンテナンスが容易
- 低パーティクル、高信頼性
ペンドロールバルブ(3-Position valve)の基本仕様
| ポートサイズ (φ) | 160 〜 400 | |
|---|---|---|
| Heリーク量※ (Pa･m3/sec) |
本体 | 1.3 x 10-10 以下 |
| 弁座 | 1.3 x 10-10 以下 | |
| 設計温度 (℃) | 本体 | MAX. 90 |
| 駆動操作部 | MAX. 60 | |
| 開時許容差圧 (Pa) | 2.66 x 103 以下 | |
| 操作圧力 (Pa) | 全開 〜 完全閉 | 0.3M |
| 全開 〜 中間位置 | 0.5M | |
| リードスイッチ | DC12/24V： 5〜50mA AC100V： 7〜20mA |
|
| バルブ取付姿勢 | 水平（その他取付姿勢はご相談下さい） | |
| バルブ寿命(cycles) | 全開 〜 完全閉 | 20万回 （呼び経400：5万回） |
| 全開 〜 中間位置 | 100万回 | |
| 材質 | 本体 | 鋳造アルミニウム(AC4CH) |
| ゲート | アルミニウム(A5052) | |
※リーク量は、表面処理、シール材によりことなります。