HOME > 商品情報超高・高真空用バルブ排気系ゲートバルブ

排気系ゲートバルブ(ペンドロールバルブ)
Exhaust System Gate Valve(Penduroll Valve)

弁体シール方向と逆の方向に力を受ける逆圧バルブが標準仕様となります。
排気系バルブには以下3種のバルブラインナップがあります。
 
IPV   3PV   APC
IPV
OPEN-CLOSE
対応サイズ:160A〜500A
 
3PV
コンダクタンス調整のため、OPEN-CLOSEの中間位置で停止可能。
対応サイズ:160A〜500A
 
APC
コンダクタンス0まで調整可能な圧力制御バルブ
対応サイズ:160A〜350A
 
 
  特長  
■IPV、3PV、APCタイプ
ワンアクションにより確実に動作します。
シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
標準仕様は動作回数50万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
弁体部の取外しはボルト1本の取り外しで可能です。
 
■APCコントローラー
チャンバー容積に最適なパラメータを算出するラーン機能を搭載しています。
高速制御で正確な圧力制御とポジション制御が可能です。
2台まで圧力センサーの接続が可能です。
APCペンドロールバルブとの組合せによるコンダクタンスゼロ制御が可能です。
 
RS232C+アナログTTLモデル   RS232Cモデル
RS232C+アナログTTLモデル   RS232Cモデル
 
 
主な共通仕様(標準)
 IPV3PVAPC
対応口径 160〜500A 160〜500A 160〜350A
Heリーク量
(シール部材質 FKMの場合)
弁体部:
1.3×10-^10[Pa・m^3/s]
外部(本体):
4.0×10-^10[Pa・m^3/s]
弁体部:
1.3×10-^10[Pa・m^3/s]
外部(本体):
4.0×10-^10[Pa・m^3/s]
弁体部:
1.3×10-^10[Pa・m^3/s]
外部(本体):
4.0×10-^10[Pa・m^3/s]
使用温度 90℃(駆動部:60℃) 90℃(駆動部:60℃) 90℃(駆動部:60℃)
操作圧力 0.5MPa 0.5MPa
保証期間 12ヶ月 12ヶ月 12ヶ月
バルブ寿命

開閉:50万回
※400A:15万回

※500A:10万回

(オプション30万回)

開閉:50万回
※400A:15万回

※500A:10万回

(オプション30万回)

開閉:20万回

開〜コントロールポジション:100万回

 
 

半導体・パネル製造装置用真空ゲートバルブの使用例について

排気系ゲートバルブ:真空ポンプ-チャンバー間のゲートバルブ、圧力制御可能なバルブが使用されることもあります。
 
搬送系ゲートバルブ:ワーク(ウェハーやガラス基板etc)の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。
 
現在主流のクラスター型チャンバーを例にすると、右図にある部分に使用されます。
 
高真空用バルブ 使用例 クラスターチャンバー模式図
 
 
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