HOME > 商品情報超高・高真空用バルブ搬送系ゲートバルブ

搬送系ゲートバルブ
Conveyance System Gate Valve

弁体が受ける圧力の方向により以下3種のバルブラインナップがあります。
お客様のご要望に応えてラインナップを拡大しています。
 
ドアバルブ   正圧バルブ(インサート型)   逆圧バルブ(本体付き)
ドアバルブ
弁体シール方向に大気圧を受ける
 
同圧バルブ
同圧状態で使用される
 
逆圧バルブ
弁体シール方向と逆の方向に力を受ける
 
 
  対応サイズ  
搬送系ゲートバルブ 200mmウェハー対応〜G8ガラス基板
バルブ駆動方式のタイプは、サイズや仕様により異なり様々なタイプがあります。
開口サイズやご要求仕様により最適な駆動方式をご提案します。
 
駆動方式タイプ   ・ロールカムタイプ
    ・ツインロールカムタイプ
    ・ボクサータイプ
  ・R2Rタイプ(Roll to Rollプロセス対応バルブ)
   
   
 
 
  特長  
真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。

標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。

弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
 
 
主な共通仕様(標準)
Heリーク量
(シール部材質 FKMの場合)
弁体部:9.0×10-^9[Pa・m^3/s]
外部(本体):4.0×10-^11[Pa・m^3/s]
使用温度 90℃(駆動部:60℃)
操作圧力 0.5MPa
保証期間 12ヶ月
バルブ寿命 100万回
 
 

半導体・パネル製造装置用真空ゲートバルブの使用例について

排気系ゲートバルブ:真空ポンプ-チャンバー間のゲートバルブ、圧力制御可能なバルブが使用されることもあります。
 
搬送系ゲートバルブ:ワーク(ウェハーやガラス基板etc)の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。
 
現在主流のクラスター型チャンバーを例にすると、右図にある部分に使用されます。
 
高真空用バルブ 使用例 クラスターチャンバー模式図
 
 
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