角型ゲートバルブ
シンプルな部品構成で小型化を実現
標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。
ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。
用途別製品ラインナップ
当社では締切能力により主に3種類に分類しています。
ドアバルブ
弁体シール方向に大気圧を受けるバルブ
同圧バルブ
同圧状態で使用されるバルブ
逆圧バルブ
弁体シール方向と逆の方向に力を受けるバルブ
ブイテックスの角型ゲートバルブについて
対応サイズ
200mm・300mmウエハー〜G10.5ガラス基板
バルブ駆動方式は、開口サイズ・締切能力などの仕様により異なり、様々なタイプがあります。
お客様の仕様により最適な駆動方式をご提案します。
駆動方式タイプ
- ロールカムタイプ
- ツインロールカムタイプ
- True-L Motionタイプ
- T-Motionタイプ
- R2Rタイプ（Roll to Rollプロセス対応バルブ）
特長
真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です
弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。
標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
主な共通仕様(標準)
| リーク量 | 本体：4.0×10-11[pa・m3/s]弁体：1.3×10-10[pa・m3/s |
|---|---|
| 使用温度 | 本体/弁体：90℃ Actuator：60℃ |
| 開閉時間 | 1.0 – 3.0 |
| 材質 | 本体：アルミニウム 弁体：アルミニウム シール材：FKM ベローズAM350 |
| 操作圧力 | 0.45-0.55[MPa] |
| 寿命 | 100万回 |
角型ゲートバルブの使用例
真空チャンバーのワーク出入口に設置します。
角型ゲートバルブ：ワーク（ウエハーやガラス基板etc）の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。
大気-チャンバー間：ドアバルブ
ロードロックチャンバー-トランスファーチャンバー間：同圧バルブ
トランスファーチャンバー-プロセスチャンバー間：逆圧バルブ
カタログ
関連情報
