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超高・高真空用バルブ
Ultra-High Vacuum Valve

真空を用いる成膜装置、エッチャーなど様々な装置に使用。
大手装置メーカー様への豊富な納入実績。
 
当社ゲートバルブは、蒸着、CVD、スパッタ、エッチャー、アッシャーetc各種プロセスの研究装置、小ロット生産装置から量産装置に使用されています。
半導体製造装置、FPD製造装置、有機EL製造装置、HDD製造装置、太陽電池製造装置etc.大手装置メーカー様へ多くの納入実績があります。
 
搬送系ゲートバルブ   排気系ゲートバルブ
搬送系ゲートバルブ   排気系ゲートバルブ
ワーク(ウェハーやガラス基板etc)の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用します。   真空ポンプ-チャンバー間の仕切りとして使用圧力制御機能のあるタイプを使用することもあります。
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超高真空バルブ その他 特殊仕様バルブ
超高真空バルブその他 特殊仕様バルブ
ご要求仕様に合わせてお見積りいたします。
 
粒子線加速器、シンクロトロン、超高真空チャンバー etc.
※研究施設・先端技術設備に多数の実績があります。
 
<製作実績>
・超高真空ゲートバルブ
オールメタルゲートバルブ
RFコンタクト付オールメタルゲートバルブ
 
・特殊仕様バルブ
FastClosingValve(FCV)高速シャッターバルブ
電子モニタ−
粒子線治療器向けゲートバルブ
etc
 
 
どの用途も専門性が高く、求められるスペックに柔軟に応じることでお客様に満足を提供いたします。
当社のバルブは、すべて受注生産となっております。
 
 

半導体・パネル製造装置用真空ゲートバルブの使用例について

排気系ゲートバルブ:真空ポンプ-チャンバー間のゲートバルブ、圧力制御可能なバルブが使用されることもあります。
 
搬送系ゲートバルブ:ワーク(ウェハーやガラス基板etc)の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。
 
現在主流のクラスター型チャンバーを例にすると、右図にある部分に使用されます。
 
高真空用バルブ 使用例 クラスターチャンバー模式図
 
 
 
 
カタログ
 
 
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